造成氦檢漏儀器燈絲脆斷的原因？
2022.09.10
氦檢漏儀器的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個(gè)較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個(gè)大氣壓的純氦），做“動(dòng)態(tài)檢漏”時(shí)能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動(dòng)態(tài)檢漏。
指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時(shí)長小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。
對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時(shí)，當(dāng)中氦的濃度。
1.較小的檢漏率：即氦檢漏儀器能檢測到較小的檢漏率。
2.響應(yīng)清除時(shí)間：當(dāng)一定流量的探測氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測器時(shí)，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，泄漏指示器可以達(dá)到大值，泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時(shí)間才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除時(shí)間略長于響應(yīng)時(shí)間。
3.啟動(dòng)時(shí)間：氦檢漏儀器開啟電源與能檢測到泄漏之間的時(shí)間。
